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承接10级-30万级净化工程无尘车间GMP车间半导体洁净车

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详细说明

    又名无尘室丶洁净室。无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(Clean Room)、无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

GBJ73-84规定的洁净度等级

等级 每立方米(升)空气中》0.5μm尘粒数 每立方米(升)空气中》5μm尘粒数

100 《35*100(〈3.5〉

1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉

10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉

100000 《35*100000(〈3500〉 《25000(〈25〉

清洁要求

  (1)、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布;

  (2)、用90%去离子水和10%的异丙醇配置清洁剂;

  (3)、使用已获批准的洁净室专用去污剂;

  (4)、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱,并及时清走。

  (5)、每块地板都要吸尘。每次交接班时,都应在地图上标明工作完成情况,例如在哪结束从哪开始。

  (6)、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。

  (7)、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。

  (8)、所有的门都需要检查并擦干

  (9)、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

  (10)、架空地板下也要吸尘及擦拭。

  (11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。

 (12)、工作时一定要记住,永远是由上往下擦,从离门最远的地方向门的方向擦。

净化原理 



气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌



等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

净化参数



换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa



平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。



温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。



噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。



结构材料



1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙



角、门、窗框等一般采用专用氧化铝型材制造。



2.地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。



3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。



4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

 
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